台積電南科14B廠晶圓良率異常的原因是什麼？

台積電南科14B廠晶圓良率異常原因分析

台積電於一月中旬傳出南科14B廠發生晶圓良率異常事件，導致上萬片晶片報廢。隨後，台積電發布聲明指出，由於晶圓報廢重做，因此調降了第一季的財務預測。聲明中將問題歸咎於某化學原料供應商，指出該供應商提供的光阻原料中的特定成分，因處理方式與過去不同，產生了異質聚合物，對14B廠生產的12/16奈米晶圓造成不良影響。

事件對台積電的影響

此次事件預計將使台積電第一季營收減少約5.5億美元，毛利率減少2.6個百分點，營業利益率減少3.2個百分點，每股盈餘減少新台幣0.42元。台積電表示，第一季報廢的晶圓將於第二季補足。此事件引發了業界的廣泛關注。

問題根源與供應鏈管理

儘管罪魁禍首是光阻原料供應商，但此事件也突顯了台積電在供應鏈管理方面需要加強。台積電企業訊息處資深處長孫又文表示，現有的線上晶圓檢驗儀器無法檢測出該異常狀況，是在部分晶圓良率出現偏差後，才追查發現光阻原料存在問題。光阻液在晶圓製造的微影成像步驟中至關重要，其品質直接影響製程良率。晶圓製造商通常對包括光阻液在內的化學品進料檢驗及供應鏈管理進行嚴格管控，以避免晶圓在製程中受到污染。然而，這次事件中，供應商並未事先告知原料製程、生產設備或生產地點的變動，導致台積電在資訊不透明的情況下，事後才發現晶圓良率異常。據報導，陶氏化學為問題光阻液的供應商，台積電可能將求償40億元，但台積電並未證實此訊息。