鐵氟龍（PTFE）的哪些特性使其在半導體製程中如此重要？

Question

## 鐵氟龍（PTFE）的抗沾黏與耐酸鹼特性，是其在半導體製程中扮演關鍵角色的核心要素。

Accepted Answer

鐵氟龍（PTFE）的獨特物理與化學性質，使其在半導體製造這一極度追求潔淨與精確的產業中，成為不可或缺的材料。其抗沾黏的特性，能有效防止化學藥劑或製程中的微粒附著在設備表面，這對於維持極高的潔淨度至關重要，進而直接影響半導體晶圓的良率。此外，鐵氟龍卓越的耐酸鹼能力，使其能承受製程中使用的各種腐蝕性化學品，保護儲存槽與管線免於侵蝕損壞，確保化學品的純淨度與儲存的安全性。

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